Exigences de mesure
Scanner la topographie 3D de la surface du composant électronique, extraire le profil mesurer la différence de segment de la position souhaitée sur sa surface

Aperçu des principales caractéristiques
1. Mesure sans contact, conception intégrée

2. Scan de topographie 3D, traitement de données multifonctionnel
3. Adapté à la mesure précise de divers matériaux

4. Facile à utiliser, facile à installer et à enlever

5. Vitesse de balayage rapide et haute précision de positionnement

6. Garantie de précision de répétition de ± 0,5 à ± 1 μm

7. Haute stabilité et forte capacité anti - interférence

Résultats de mesure
La différence de segment de position mesurée est d'environ 320 µm

Résolution des problèmes rencontrés par les dispositifs de mesure à ce stade

1. Certaines exigences pour le matériel de mesure
2. Mesure de contact, il y a des dommages au matériel de mesure
3. Petite plage de mesure, position incertaine, difficile à déterminer
4. Vitesse de mesure lente, faible précision, grande erreur de mesure

5. Structure complexe et coût élevé