Le Silane est un nouveau produit matériel important, largement utilisé dans l'affichage à écran plat LCD, les semi - conducteurs, l'énergie solaire et d'autres industries, avec le développement des semi - conducteurs en Chine et d'autres industries, la demande intérieure de Silane augmente de jour en jour, mais en raison de la technologie de production de Silane domestique à ses débuts, comment analyser la pureté du Silane est un sujet auquel chaque fabricant doit faire face
Il est bien connu que l'analyse de gaz de haute pureté est un processus complexe et l'un des points difficiles de l'analyse chromatographique; En raison de la spécificité de ses propriétés physiques, la difficulté de son analyse est difficile, nécessitant non seulement un détecteur très sensible, mais également la résolution du problème de l'oxycombustion du Silane.GC - 9560 - Hg chromatographe en phase gazeuse à ionisation d'héliumSurmonter de nombreuses difficultés techniques dans le processus d'analyse du Silane, en utilisant un détecteur à ionisation d'hélium de haute sensibilité, équipé d'un système de prélèvement de Silane dédié, bien terminé l'analyse des impuretés de l'ordre de ppb dans le Silane.

Normes applicables:

• GB / t 15909 - 2009 "SILANE gazeux pour l'industrie électronique"

GC - 9560 - Hg chromatographe en phase gazeuse à ionisation d'hélium pour l'analyse du silaneConvient pour la détection des impuretés traces dans les gaz de haute pureté et les gaz utilisés dans l'industrie électronique, zui petite concentration de détection jusqu'à 5 ppb. L'instrument est équipé d'un détecteur d'ionisation d'hélium hautement sensible utilisant la technologie de découpe centrale de la société Huawei *, les vannes d'admission équipées sont toutes des vannes d'admission avec un circuit de gaz de protection de purge; L'ensemble de la machine est conçu avec une boîte à colonnes multiples, différentes colonnes de chromatographie peuvent contrôler la température individuellement, zui grande limite optimise les conditions de séparation et facilite le traitement du vieillissement des différentes colonnes de chromatographie séparément, facilite l'entretien de l'instrument; L'instrument est équipé d'un système de correction automatique de la pression d'admission, surmontant l'erreur d'analyse causée par la quantité d'admission non * plus de différents gaz de base en raison de la différence de poids moléculaire.

Un,GC - 9560 - Hg chromatographe en phase gazeuse à ionisation d'hélium pour l'analyse du silaneAvantages de performance:
L'industrie du gaz est l'industrie de base de l'économie nationale, le « sang» de la production industrielle, avec le développement rapide de l'économie nationale, la demande de gaz de haute pureté et de gaz pour l'industrie électronique a également augmenté rapidement. La détection des impuretés traces est le lien clé de la production de gaz de haute pureté et de gaz pour l'industrie électronique, et l'analyse des impuretés traces a été un point difficile de l'analyse chromatographique, la conductivité thermique traditionnelle et d'autres détecteurs chromatographiques ne sont pas compétents pour l'analyse de gaz de haute pureté.
Le détecteur à ionisation d'hélium à décharge pulsée (pdhid) est un détecteur de type universel extrêmement sensible, avec une réponse élevée à presque tous les composés inorganiques et organiques, particulièrement adapté à l'analyse de gaz de haute pureté, et est * un détecteur capable de détecter l'ordre de ng / G (ppb). La nouvelle norme nationale stipule que l'utilisation d'un détecteur à ionisation d'hélium pour remplacer le conducteur de chaleur d'origine et d'autres détecteurs, Huai chromatographie a entrepris la principale tâche de rédaction de la norme nationale, analyse de gaz hélium ionisation chromatographie en phase gazeuse, est également en cours d'élaboration et sera bientôt officiellement publié pour La mise en œuvre.

Pdhid limite de détection des impuretés gazeuses dans le Silane (ppb)

Deux,GC-9560-HGConfiguration du système:

(1) GC - 9560 - Hg chromatographe en phase gazeuse à ionisation d'hélium (2) détecteur à ionisation d'hélium (pdhid)

(3) Système de coupe central (4) Système électronique de prélèvement de gaz

(5) Système d'adsorption et de réduction de l'oxygène (6) purificateur d'hélium

(7) soupape de décompression spéciale pour le gaz porteur (8) soupape de prélèvement spéciale sans volume mort
(9) filtre à gaz porteur (10) filtre d'échantillon

(11) colonne de chromatographie (12) Gaz standard
(13) hélium de haute pureté (pureté > 99999%) (14) travaux de chromatographie inverse GC - 9560v4.0

• Technologie de découpe centrale permettant une analyse complète des gaz:
  Le chromatographe en phase gazeuse à ionisation d'hélium GC - 9560 - Hg utilise la technologie de découpe centrale et de soufflage inverse de plusieurs colonnes multivannes, le système se compose de plusieurs vannes à dix voies de type purge et d'une combinaison de chromatographie Multi - racines pour contrôler automatiquement son processus d'échantillonnage, de commutation, de découpe et de soufflage inverse via un programme de temps défini par le poste de travail.

• Valve à dix voies de type purge
  GC-9560-HGÉquipé d'une vanne à dix voies de type purge avec circuit de gaz de protection d'origine produite par vici importée, le plan de la vanne est toujours dans l'atmosphère du gaz porteur, évitant la pénétration d'air dans l'échantillon lors de l'admission et de la commutation, améliorant considérablement la sensibilité et la précision de la détection.
• Technologie de colonne de chromatographie avec traitement spécial
  (1) le tube de colonne de chromatographie adopte le matériau en acier inoxydable 316L, et la paroi intérieure du tube est traitée par passivation, empêchant la création de problèmes tels que l'adsorption et le remorquage du monoxyde de carbone
  (2) Les supports de colonne de chromatographie sont tous traités spécialement pour éviter la création de problèmes tels que l'adsorption d'oxygène
  (3) la colonne prédécoupée adopte la technologie de colonne de remplissage miniature du pays de chromatographie de Huai pour améliorer complètement la séparation de l'échantillon, en tenant compte de la séparation, de la stabilité et de la rapidité

• Système de séparation de boîtes à colonnes multiples
  Les échantillons de gaz se présentent sous différentes formes, ainsi qu'une grande variété d'impuretés, nécessitant plusieurs connexions chromatographiques différentes pour compléter la séparation de toutes les impuretés dans l'échantillon de gaz. Étant donné que les températures de fonctionnement optimales de zui ne sont pas les mêmes pour les différentes colonnes de chromatographie, il est difficile de trouver des températures de fonctionnement optimales de zui qui conviennent simultanément au fonctionnement des différentes colonnes de chromatographie dans une même boîte de colonne. Le GC - 9560 - Hg utilise une conception de boîte Multi - colonnes qui résout efficacement le problème difficile des différentes colonnes de chromatographie nécessitant des températures de fonctionnement différentes.
  Dans l'entretien quotidien de l'instrument, les températures d'activation des colonnes de chromatographie étant différentes pour différents supports tels que les tamis moléculaires 5a, si le vieillissement dans la même boîte de colonne nécessite de démonter les colonnes de chromatographie qui ne tolèrent pas les températures élevées, puis de les activer séparément. La conception de la boîte à colonnes multiples de GC - 9560 - Hg peut résoudre efficacement les problèmes ci - dessus, différentes colonnes de chromatographie peuvent être activées séparément dans différentes boîtes à colonnes, évitant le problème de devoir démonter et démonter les colonnes de chromatographie dans les travaux d'entretien quotidiens de l'instrument.
• Purificateur d'hélium HP - 2:
  GC-9560-HGUtilisant de l'hélium de haute pureté comme gaz porteur, la pureté de l'hélium affecte directement la sensibilité de détection de l'instrument entier aux impuretés. Les essais ont montré que la pureté du gaz porteur utilisé pour l'analyse du gaz de haute pureté est supérieure d'au moins un ordre de grandeur à la pureté intrinsèque de l'échantillon gazeux.
  Le Purificateur d'hélium de type HP - 2 est un Purificateur de gaz de transport spécialisé produit par la société vici, sa matrice de purification est un alliage adsorbant non volatil, la surface des particules d'adsorbant a un film d'oxyde à activer par chauffage, le processus d'activation doit être effectué sous vide ou dans un environnement de gaz inerte, ce qui permet à l'hélium de diffuser librement entre eux, empêche la formation d'une couche de purification de l'oxygène et peut également effectuer l'adsorption du gaz d'impuretés. Le matériau adsorbant de HP a une bonne stabilité thermique et comprend deux plages de contrôle de la température.
  Gaz purifiables: He, AR, ne, KR, Xe, RN
  Zui grande pression de fonctionnement: 1000psi
  Gaz éliminé: H₂、 O₂、 N₂、 CO、CO₂、 CH₄、 H₂O、NO、NH₃、 CF₄Etc.
  Concentration résiduelle: ≤ 10ppb
• Système de correction de pression d'admission
  Le chromatographe traditionnel utilise la méthode de contrôle du débit à la sortie de la vanne d'admission pour contrôler le volume de l'échantillon à l'intérieur du tube de dosage, les essais ont montré que cette méthode avait une grande erreur d'analyse
  Prenons l'exemple de l'analyse de l'hydrogène de haute pureté: le gaz standard est constitué de six impuretés configurées dans l'hélium, tandis que le gaz échantillon est constitué de six impuretés dans l'hydrogène; En raison de la différence de poids moléculaire de l'hélium et de l'hydrogène, il en résulte que la quantité d'échantillon entrant au même débit n'est pas *
  GC-9560-HGÉquipé d'un système de correction de pression, surmonte le problème de la quantité d'échantillon non * causée par le gaz de fond différent et assure la précision des données.
• Valve d'échantillonnage sans volume mort
  Le GC - 9560 - Hg est équipé d'une vanne d'échantillonnage spéciale sans volume mort, en utilisant la méthode d'échantillonnage avec protection contre la purge, ce qui évite efficacement le problème des résidus d'air, réduisant l'impact du processus d'échantillonnage sur l'analyse à un niveau faible.
• Soupape de décompression spéciale pour gaz porteur
  En raison de la présence d'un grand nombre de volumes morts, la vanne de décompression ordinaire affecte directement la pureté du gaz porteur après la sortie de la vanne de décompression, ce qui entraîne une forte concentration d'impuretés de fond dans le gaz porteur, ce qui affecte la limite de détection de l'ensemble du système.
  Le chromatographe en phase gazeuse à ionisation d'hélium GC - 9560 - Hg est équipé d'une vanne de décompression de gaz porteur entièrement en acier inoxydable avec fonction de régulation de pression à deux étages, ce qui améliore considérablement la stabilité de la pression et assure la stabilité de la ligne de base, tout en réduisant le volume mort dans Le corps de la vanne, améliorant encore la sensibilité de détection.

GC-9560-HGGraphique de l'effet analytique: