Mesure de l'épaisseur du revêtement d'électrode
Exigences de mesure
Balayage d'une ligne mesurant la différence de segment avec le revêtement en prenant le substrat comme plan de référence, c'est - à - dire l'épaisseur du revêtement
Aperçu des principales caractéristiques
1. Mesure sans contact, conception intégrée
2. Large champ d'application, facile à installer et à enlever
3. Garantie de précision de répétition de ± 0,5 à ± 1 μm
4. Balayage de type de première ligne, la vitesse peut atteindre 50mm / s, améliorant considérablement la vitesse de détection
5. Détection hors ligne, stockage de données d'épaisseur, formant des statistiques de gestion / données de base d'analyse
6. Fonctions d'alarme riches, OK, Ng conseils, surveiller et mesurer l'ensemble du processus, contrôler la qualité, améliorer l'efficacité

Résultats de mesure
L'épaisseur du revêtement est d'environ 18 µm ± 1 µm
Résolution des problèmes rencontrés par les dispositifs de mesure à ce stade
1. Certaines exigences pour le matériel de mesure
2. Mesure de contact, il y a des dommages au matériel de mesure
3. Petite plage de mesure, position incertaine, difficile à déterminer
4. Vitesse de mesure lente, faible précision, grande erreur de mesure
5. Structure complexe et coût élevé
