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Chromatographe à ions hélium pour l'analyse du tétrachlorosilane
L'instrument est équipé d'un détecteur à ionisation d'hélium hautement sensible, utilisant la technologie de découpe centrale de Huai, les vannes d'éc
Détails du produit
- Description du produit
Chromatographe à ions hélium pour l'analyse du tétrachlorosilaneApplicable à la détection des impuretés traces dans les gaz utilisés dans l'industrie électronique, la petite concentration de détection peut atteindre 5 ppb. L'instrument est équipé d'un détecteur à ionisation d'hélium hautement sensible, utilisant la technologie de découpe centrale de Huai, les vannes d'échantillonnage sont toutes équipées d'un circuit de gaz de protection de purge; La machine entière adopte la conception de boîte Multi - colonne et est équipée d'un système de correction automatique de la pression d'admission, garantissant la quantité d'admission de l'échantillon pour différents gaz de fond. Les produits ont été successivement récompensés par le projet de classe a de la ville de Shanghai pour la transformation des résultats de haute technologie.
| Silicium (sihcl3) contenu (Fraction volumique) / L0-6 ≤ | 400 | 25 | |
| Dichlorosilane (SIH2Cl2) contenu (Fraction volumique) / L0-6 ≤ | 400 | 25 | |
| Méthyldichlorosilane (SiCl2CH4) contenu (Fraction volumique) / L0-6 ≤ | 200 | 50 | |
| Teneur en éléments métalliques et autres éléments | (bore + aluminium) (b + AL) contenu / (µg / kg) ≤ | – – | 0.1 |
| (phosphore + arsenic) (P + as) contenu / (µg / kg) ≤ | – – | 0.3 | |
| Teneur en gallium (GA) / (µg / kg) ≤ | – – | 0.5 | |
| Teneur en antimoine (Sb) / (µg / kg) ≤ | – – | 0.5 | |
| Teneur en indium (in) / (µg / kg) ≤ | – – | 0.5 | |
| Teneur en calcium (CA) / (µg / kg) ≤ | 1 | 0.5 | |
| Teneur en chrome (CR) / (µg / kg) ≤ | 1 | 0.5 | |
| Teneur en fer (Fe) / (µg / kg) ≤ | 1 | 0.5 | |
| Teneur en potassium (k) / (µg / kg) ≤ | 1 | 0.5 | |
| Teneur en sodium (Na) / (µg / kg) ≤ | 1 | 0.5 | |
| Teneur en nickel (ni) / (µg / kg) ≤ | 1 | 0.5 | |
| Teneur en molybdène (Mo) / (µg / kg) ≤ | 1 | 0.5 | |
| Teneur en manganèse (mn) / (µg / kg) ≤ | 1 | 0.5 | |
| Teneur en cuivre (Cu) / (µg / kg) ≤ | 1 | 0.5 | |
| Teneur en cadmium (CD) / (µg / kg) ≤ | 1 | 0.5 | |
| Teneur en cobalt (CO) / (µg / kg) ≤ | 1 | 0.5 | |
| Teneur en zinc (Zn) / (µg / kg) ≤ | 1 | 0.5 | |
| Teneur en Vanadium (v) / (µg / kg) ≤ | 1 | 0.5 | |
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