Le capteur de pression ultra - miniature cyg502, d'un diamètre extérieur nominal de 2 mm, est spécialement conçu pour les utilisations nécessitant des dimensions de montage plus petites dans les expériences de mécanique des fluides. Est actuellement la plus petite taille de capteur de pression dans les produits lancés par Notre société.

Les éléments sensibles à la pression du cyg502 sont conçus et fabriqués avec la technologie avancée MEMS (Miro Electronic machinical Systems). L'élément sensible à la pression piézorésistif en silicium intégré en trois dimensions et usiné double face a une excellente précision linéaire. La grande consistance du pont de contrainte de Whiston réalisé par implantation ionique, lithographie fine, lui confère une faible dérive de température. L'utilisation de la technologie de liaison directe silicium - silicium, de la conception de V - slot inversé, permet d'optimiser la taille du film de la puce utilisable, de réduire la taille de la puce entière à la taille de 1 × 1 mm, tandis que la sensibilité de sortie peut encore atteindre la plage de 100 kPa, ce qui constitue une percée clé pour la réalisation de capteurs ultraminiatures.

La modification de la liaison silicium - verre dans la conception traditionnelle à la liaison silicium - silicium améliore l'effet d'adaptation thermique et réduit l'instabilité de position zéro causée par le stress.

Actuellement, les variétés disponibles sur le marché ont des produits de mode de mesure de pression absolue, le type de pression phénoménale est en cours de développement.

Le capteur de pression ultra - miniature de type cyg502a superpressure est en forme de sonde avec un diamètre extérieur standard de Ф 2,15 mm et une longueur de 18 mm, la gamme optionnelle du capteur est de 100, 160, 250, 400, 600, 1000, 1600, 2500, 4000 kPa ABS.

Le capteur de pression absolue cyg502a est porté en pression frontale par un élément sensible. Elle ne s'applique donc qu'aux gaz secs dont le milieu est non corrosif et non conducteur. Il a une zone de température de fonctionnement assez large, allant jusqu'à - 55 ℃ ~ + 120 ℃, et a également d'excellentes caractéristiques dynamiques à haute fréquence, sa fréquence intrinsèque des éléments sensibles de la gamme la plus basse est > 200 kHz et le temps de montée est inférieur à la microseconde.

1, paramètres des indicateurs de performance

2, sortie pleine échelle: valeur minimale 30mv valeur typique 80mv valeur maximale 130mv

3, impédance d'entrée - sortie: valeur minimale 3 kΩ valeur typique 5 kΩ valeur maximale 7 kΩ

4, courant de fonctionnement d'entrée: 1.5ma (type de pression manométrique) 1ma (type de pression absolue) (source de courant constant)

5, plage de température de fonctionnement: - 55 ℃ ~ + 120 ℃

6, plage de température de compensation: - 10 ℃ ~ + 80 ℃

7, capacité de surcharge: 200% de l'échelle nominale

8, sensibilité d'accélération: < 0001% FS / G

9, diagramme de dimension extérieure: cyg502a