Spectromètre de masse atonarp Process Control Aston ™ Spécifications techniques:

Outil universel pour le contrôle des processus en temps réel, gaz résistants à la corrosion, anti - condensation
Plate - forme in situ d'analyse moléculaire pour la fabrication de semi - conducteurs, fournissant des données exploitables en temps réel
Avec source d'ionisation plasma, sans filament, plus durable
Entièrement intégrable avec des outils de production de gros volumes
Aston ™ Analyseur de spectrométrie de masse ProcessEn tant que plate - forme puissante qui peut remplacer une variété d'outils traditionnels, offrant un niveau de contrôle sans précédent, y compris la lithographie, la gravure diélectrique et conductrice et le dépôt, le nettoyage de la Chambre, l'adaptation de la chambre et la dissolution.

Aston ™ Analyseur de spectrométrie de masse ProcessParamètres techniques

Atonarp Aston™ Application: développement majeur du contrôle et de l'optimisation des processus de fabrication de semi - conducteurs, amélioration du rendement, du débit et de l'efficacité des processus de fabrication de semi - conducteurs
Aston ™ Est un nouveau spectromètre de masse en ligne robuste et compact conçu pour la surveillance et le contrôle des gaz dans la fabrication de semi - conducteurs et les applications de contrôle de processus industriels, haute précision et en temps réel combinés avec la robustesse et la fiabilité de la production, tels que l'analyse de détection de gaz d'échappement Dry Pump semi - conducteur, permettant la surveillance en ligne, le diagnostic.
CVD / ALD: transition oxyde - Nitrure et analyse de composition
Etch/ALE End Point :<0.3%
Chamber Matching: identifier les molécules de suivi


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