La spectrométrie de masse à plasma à couplage inductif (ICP - MS) est une nouvelle technique d'analyse des éléments inorganiques et des isotopes qui détecte rapidement et simultanément presque tous les éléments du tableau périodique. La technologie ICP - MS en termes de capacités analytiques, dépassant la somme des techniques d'analyse inorganiques traditionnelles telles que la spectroscopie à plasma à couplage inductif (icpaes), l'absorption atomique dans un four à graphite (GFAAS) et la technologie d'absorption par atomes froids de mercure (CVAAS), est considérée comme le développement le plus passionnant de la technologie analytique contemporaine.

Les domaines d'application de la technologie Agilent ICP - MS comprennent:
● analyse d'échantillons environnementaux, y compris l'eau du robinet, l'eau de surface, l'eau souterraine, l'eau de mer et divers sols, déchets, etc.;
● analyse des matériaux semi - conducteurs
● analyse d'échantillons tels que le verre, la céramique et la métallurgie minérale;
● recherche géologique;
• Recherche clinique bioalimentaire et pharmaceutique;
● analyse des matières nucléaires
● analyse d'échantillons pétrochimiques;
● applications et recherche médico - légales;
● récemment, l'analyse de la valence et de la morphologie des éléments dans des domaines tels que la toxicologie environnementale, les sciences de la vie et d'autres en association avec la technologie de séparation est devenue un point focal pour l'application de la technologie ICP - MS.
Caractéristiques analytiques ICP - MS:
● peut détecter presque tous les éléments du tableau périodique rapidement et simultanément
● limite de détection la plus basse (aussi bas que le niveau PPQ)
● meilleur rapport coût / bénéfice analytique
● La plage dynamique linéaire la plus large - détection directe de concentrations allant de PPQ à des centaines de PPM
● La ligne spectrale est la plus simple et la moins perturbatrice, avec une bonne précision et précision
● nécessite une faible quantité d'échantillon (UL à ML), la vitesse d'analyse est rapide (1 à 3 minutes / échantillon)
● mode de détection flexible et varié
Analyse des contaminants ultra - traces dans les matériaux couramment utilisés dans l'industrie des semi - conducteurs:
Solide: si; tranches monocristallines de gaaa; Quartz, carbure de silicium et autres matériaux de four; Électrodes métalliques de haute pureté, etc.
Liquide: eau ultra pure; HF;HNO3; HCI; H2SO4; H2O2; Ammoniaque, etc.
Gaz: sih4; TE0S; NF3; N2 et ainsi de suite
Agilent ICP - MS permet une analyse directe des échantillons organiques:
La technologie de plasma froid à couple de blindage haute performance et haute puissance d'Agilent ICP - MS a été utilisée pour déterminer les éléments contaminants traces de niveau ppt dans une gamme d'échantillons organiques.
● pour certains de ces échantillons, d'autres méthodes ne peuvent pas obtenir de résultats satisfaisants, la technologie de plasma froid à haute puissance est la seule méthode d'analyse.
● nettoyant alcalin fort - - - hydroxyde de tétraméthylammoniac (tmah), etc.
● solvants organiques couramment utilisés - toluène, xylène, IPA, etc.
● Échantillons à matrice élevée – agents de nettoyage extrêmement volatils tels que la colle de lithographie, le cristal liquide, le bpsg, le PSG, etc. – acétone, méthanol, etc.