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Système d'inspection de disque Olympus 12 pouces
Le système d'inspection de disque Olympus de 12 pouces a principalement deux modèles, les modèles sont al120 - lmb12 - LP, al120 - lmb12 - f. Le systè
Détails du produit

Caractéristiques principales du système d'inspection de disque Olympus de 12 pouces:

● transmission robuste, fiable et sûre

Le système d'inspection de plaquettes Olympus de 12 pouces poursuit la robustesse, la fiabilité et la sécurité des modèles de la génération précédente avec un transfert sûr et fiable de plaquettes de 300 mm et de plaquettes, ainsi que des plaquettes Warped.

● conception ergonomique, facile à utiliser

Le système d'inspection de disque Olympus de 12 pouces peut définir librement le mode d'inspection, dans la conception a pris en compte l'opérabilité dans l'ingénierie du canal arrière, en accordant une attention particulière à la simplicité d'utilisation de l'équipement. Deux modèles correspondant respectivement à foup (Load port) et fosb.

L'optimisation de la position d'observation macroscopique du système d'inspection de disque Olympus de 12 pouces et l'alignement centralisé des unités opérationnelles améliorent l'opérabilité de l'appareil.

Système d'inspection automatique de disque de 300 mm al120 - 12 spécifications techniques12寸奥林巴斯晶圆检查系统AL120-LMB12-LP/AL120-LMB12-F

Modèle

AL120-LMB12-LP

AL120-LMB12-F

Taille de la plaquette

300 mm (semi m1,15 t = 775 μm) en option: 200 mm

Nombre de boîtes de cartes

Boîte unique (chargement, déchargement)

Boîte à cartes régler la hauteur

900 mm

Port de chargement

Il y a

Aucun

Ordre de manipulation

Macros de surface, macros de surface interne, inspection microscopique

Mode d'inspection

Inspection de tous, inspection par échantillonnage

Calibration du Wafer

Anneau central sans contact

Mode de manutention des plaquettes

Manipulation mécanique par adsorption sous vide

Microscope applicable

Microscope d'inspection de semi - conducteur mx61l

Environnement d'application

AC100~120 V,220~240 V,3.0/1.7 A,50/60 Hz , Vide - 67 ~ - 80 kPa

Table de chargement

Table d'aspiration manuelle XY avec réglage grossier / fin XY et mécanisme de rotation à 360 degrés

Poids (microscope non inclus)

Environ 360 kg

Environ 270 kg

Enquête en ligne
  • Contacts
  • Société
  • Téléphone
  • Courriel
  • sur WeChat
  • Code de vérification
  • Contenu du message

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