Caractéristiques principales du système d'inspection de disque Olympus de 12 pouces:
● transmission robuste, fiable et sûre
Le système d'inspection de plaquettes Olympus de 12 pouces poursuit la robustesse, la fiabilité et la sécurité des modèles de la génération précédente avec un transfert sûr et fiable de plaquettes de 300 mm et de plaquettes, ainsi que des plaquettes Warped.
● conception ergonomique, facile à utiliser
Le système d'inspection de disque Olympus de 12 pouces peut définir librement le mode d'inspection, dans la conception a pris en compte l'opérabilité dans l'ingénierie du canal arrière, en accordant une attention particulière à la simplicité d'utilisation de l'équipement. Deux modèles correspondant respectivement à foup (Load port) et fosb.
L'optimisation de la position d'observation macroscopique du système d'inspection de disque Olympus de 12 pouces et l'alignement centralisé des unités opérationnelles améliorent l'opérabilité de l'appareil.
Système d'inspection automatique de disque de 300 mm al120 - 12 spécifications techniques
Modèle |
AL120-LMB12-LP |
AL120-LMB12-F |
Taille de la plaquette |
300 mm (semi m1,15 t = 775 μm) en option: 200 mm |
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Nombre de boîtes de cartes |
Boîte unique (chargement, déchargement) |
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Boîte à cartes régler la hauteur |
900 mm |
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Port de chargement |
Il y a |
Aucun |
Ordre de manipulation |
Macros de surface, macros de surface interne, inspection microscopique |
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Mode d'inspection |
Inspection de tous, inspection par échantillonnage |
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Calibration du Wafer |
Anneau central sans contact |
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Mode de manutention des plaquettes |
Manipulation mécanique par adsorption sous vide |
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Microscope applicable |
Microscope d'inspection de semi - conducteur mx61l |
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Environnement d'application |
AC100~120 V,220~240 V,3.0/1.7 A,50/60 Hz , Vide - 67 ~ - 80 kPa |
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Table de chargement |
Table d'aspiration manuelle XY avec réglage grossier / fin XY et mécanisme de rotation à 360 degrés |
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Poids (microscope non inclus) |
Environ 360 kg |
Environ 270 kg |
